|
НАПІВПРОВІДНИКОВІ СЕНСОРИ
1. Вступ. Предмет і зміст курсу. Визначення напівпровідникових сенсорів та їх класифікація. Основні характеристики. Етапи розвитку.
2. Технологія напівпровідникових сенсорів. Базові технологічні процеси. Об’ємні та поверхневі мікромеханічні процеси. Об’ємне травлення. Основні тенденції та майбутнє технології.
3. Акустичні сенсори. Акустичні хвилі. П’єзоелектричні матеріали. Сенсори на поверхневих хвилях. Застосування. Тенденції розвитку.
4. Механічні сенсори. П’єзоопір та його використання. Ємностні сенсори. Основні області застосування та їх майбутнє.
5 Магнітні сенсори. Гальваномагнітні ефекти. Магніточутливі матеріали. Інтегральні холлівські сенсори. Магнітотранзистори. Інші магнітні сенсори. Основні області застосування.
6. Радіаційні сенсори. Фізичні принципи роботи. Інфрачервоні сенсори. Сенсори чутливі до кольору. Високо-енергетичні фотодіоди. Кремнієві сенсори рентгенівського випромінювання. Сенсори радіаційного випромінювання.
7. Термічні сенсори. Перенос тепла. Термічно чутливі матеріали та структури. Термічні та температурні сенсори. Основні області застосування.
8. Хімічні сенсори. Взаємодія газового середовища та поверхні напівпровідників. Каталіз та прискорення хімічних реакцій. Електричні властивості спресованих порошків. Тонко-плівкові сенсори. Товстоплівкові сенсори. Польові транзистори для газів та іонночутливі польові транзистори. Основні характеристики хімічних сенсорів та області застосування.
9. Біосенсори. Основні принципи роботи. Імобілізація біологічно чутливих речовин. Мембрани. Переніс речовини в мембранах. Проблеми пакування. Приклади застосування. Майбутнє біосенсорів.
10. Інтелектуальні сенсори. Організація та функції. Інтерфейси. Техніка виготовлення. Приклади інтегральних сенсорів. Майбутнє інтегральних сенсорів.
ЛІТЕРАТУРА
1.S.M.Sze. Semiconductor Sensors. A wiley-Interscience Publication, 1996, 548p.
2. M.I.Usher, Sensors and Transducers. Mc Millian, Hampshire, 1985.
3. S.Middelhock and S.A. Audet. Silicon sensors, Academic Press, New York, 1989.
4. A.F.P.Turner, I.Karube, G.S.Wilson. Biosensors: Fundamentals and Applications. Oxford, 1987.
Програму склав:
- В.І.Стріха, д-р фіз.-мат.наук.
|