|
Моделювання фізичних процесів
1. Вступ. Огляд квантової теорії. Стаціонарне рівння Шредінгера та рівняння дифузії.
2. Нестаціонарне рівняння Шредінгера. Загальні підходи та чисельні методи, що застосовуються для його розв`язання.
3. Аналіз квантових систем за допомогою методів випадкокого блукання.
4. Варіаційні методи Монте-Карло для квантово-механічних систем.
5. Моделі технологічних процесів виготовлення НВІС:
- Моделі процесів йонного легування;
- Моделі дифузійних процесів;
- Моделі термічного окислення;
- Моделі граничних процесів;
- Моделювання процесу епітаксії.
6. Фізико-топологічні моделі напівпровідникових структур. Програмна реалізація одновимірного моделювання технологічних процесів. Обмеження фізико-топологічних моделей.Моделі транспорту та генерації-рекомбінації в електронних структурах. Моделі єлектрофізичних процесів в полі- та аморфному кремнії.
7. Однакові рівняння - однакові розв`язки. Подібність моделей.
8. Універсальність розв`язків та єдинство фізичних законів.
ЛІТЕРАТУРА
1. А.Н.Бубенников. Моделирование интегральных технологий, приборов и схем.- Москва. Высшая школа. 1989, 319 с.
2. Б.С. Польский. Численное моделирование полупроводниковых приборов. - Рига. Зинамне, 1986.
3. Х. Гулд, Я. Тобочник. Компьютерное моделирование в физике: В 2-х частях. Пер. с англ. - Москва, Мир. 1990. 400 с.
Програму склав:
|