|
АВТОМАТИЗАЦІЯ ДОСЛІДЖЕНЬ ТА СУЧАСНІ МЕТОДИ ДІАГНОСТИКИ ПОВЕРХНІ
Загальні відомості про курс:
Курс за вибором для спеціалістів
Всього 36 год;
Викладачі:
доц., к.ф.-м.н., Коваль І.П., (тел. +38 044 5260560, e-mail ifk@rpd.univ.kiev.ua)
Короткий зміст та мета курсу:
В цьому курсі викладаються сучасні методи діагностики поверхні і приповерхневих шарів твердого тіла. В курсі розглядаються питання, пов”язані з методами реєстрації та обробки специфічного відгуку поверхні твердого тіла на дію електронного, іонного та електромагнітного випромінення та використання цього відгуку для діагностики складу та атомної, електронної і хімічної структури поверхні та приповерхневих шарів. Курс розрахований на майбутніх спеціалістів в галузі радіофізики та електроніки, а також фізики твердого тіла.
Зміст курсу:
1. Основнi означення. Класифікація методів діагностики поверхні. Вимоги до експериментальної установки та детекторів. Основні алгоритми обробки експериментальних даних - (4 г.)
2. Електрон-електроннi взаємодiї та чутливiсть до глибини в електроннiй спектроскопiї. Непружнi електрон-електроннi зiткнення. Перерiзи пружнього та непружнього розсiяння. Спектроскопiя характеристичних втрат енергiї електронами. Iонiзацiйна спектроскопiя. Кiлькiсний аналiз в iонiзацiйнiй спектроскопiї. - (6 г.)
3. Електронна оже-спектроскопiя. Кiлькiсний та якісний аналiз в електроннiй оже-спектроскопiї. Пороговi спектроскопiї. - (4 г.)
4. Атомнi зiткнення та механiзми втрат енергiї швидких iонiв в твердому тiлi. Перерiзи взаємодiї іонів з твердим тілом при ядерному та електронному механiзмах взємодiї. - (4 г.)
5. Іонно-зондові методи діагностики. Резерфордiвське зворотнє вiдбиття. Розподiл елементiв по глибинi.. Вторинно-iонна масс-спектрометрiя. - (6 г.)
6. Генерацiя та поглинання фотонiв в твердих тiлах. Рентгенiвский мiкроаналiз. Рентгенiвска фотоелектронна спектроскопiя. Подовжена тонка структура спектрiв рентгенiвського поглинання. - (4 г.)
7. Дифракцiя рентгенiвских променiв на вiдбиття при ковзних кутах падiння. Елiпсометрiя. - (4 г.)
8. Перспективи розвитку методiв дiагностики. Автоматизацiя збору та обробки даних в рiзних рiзновидах спектроскопiй. - (4 г).
Передумови:
- Базовий курс фізики;
- курс фізики твердого тіла;
- курс фізичної мікроелектроніки;
ЛІТЕРАТУРА:
1. А.Шульман, С.Фридрихов "Вторично-эмиссионные методы исследования твердого тела" - М: Наука, 1977
2. Л.Фелдман, Д.Майер "Основы анализа поверхности и тонких пленок".-М:Мир,1989
3. "Методы анализа поверхностей" под.ред. А.Зандерны - М:Мир,1979
4. "Ионизационная спектроскопия" под. общ.ред. Н.Г.Находкина.-Киев:"Лыбидь",1992
5. "Анализ поверхности методами оже- и рентгеновской фотоелектронной спектроскопии". под ред.Д.Бриггса и М.Сиха. М:Мир, 1987.
6. Х.-И. Кунце, “Методы физических измерений” М., Мир, 1989, 214 с.
|